Conditions Extrêmes et Matériaux : Haute Température et Irradiation
CEMHTI - UPR3079 CNRS

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2010

ACL
doi
HAL

G.Abadias, L.E.Koutsokeras, S.N.Dub, G.N.Tolmachova, A.Debelle, T.Sauvage, P.Villechaise, 'Reactive magnetron cosputtering of hard and conductive ternary nitride thin films: Ti–Zr–N and Ti–Ta–N', Journal of Vacuum Science and Technology A 28 541 (2010) doi:10.1116/1.3426296