Le dispositif DIADDHEM permet de réaliser des implantations en température de -150 à 1400°C sur une surface maximum de 1 pouce de diamètre.
La température est mesurée avec une précision de quelques degrés, selon la gamme de température voulue, par thermocouple installé sur des pinces en cuivre rétractables ou soit par pyrométrie. Ces pinces permet de ramener l’échantillon à température ambiante plus rapidement pour pouvoir lancer une autre implantation.
L’enceinte est dotée d’un sas de transfert pour le changement d’échantillons sans rupture du vide. Le balayage est de type Lissajous avec une fréquence maximum de 10Hz.
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